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오제이 전자 분광분석기
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기기 설명
장비명(약어) Auger Electron Spectrometer (AES)
모델명 PHI700Xi
브랜드 Ulvac-phi
위치 FTC 208호
담당자 장종식 bc012345@hanyang.ac.kr
담당자 전화번호 02-2220-1712
기기상태 예약가능
인쇄하기목록으로

원리와 특징
Auger Electron Spectroscopy(AES)는 고체 재료 내에서 표면이나 손실 위험이 있는 계면의 원자층의 물리, 화학적 성분을 결정하는데 사용되는 비파괴적인 분석 장비이다. AES는 hydrogen과 helium을 제외한 모든 원소를 검출할 수 있고 0.1에서 1 atomic percent의 평균 분석률 한계에서 반정량적 정보를 공급할 수 있다. 특히, field emission electron source로 이루어진 PHI 700Xi 장비는 질 높은 2차원적 mapping과 최신기술인 positive 샘플 bias을 적용하여 높은 분해능을 제공한다. 또한 샘플에 fracture가 가능하기 때문에 횡단면적 샘플 분석이 용이하다.

사양

1. SEM Beam Size - 20Kv, 1nA : <7nm - 10Kv, 1nA : <17nm - 10Kv, 10nA : <22nm

2. Auger Spatial Resolution - 20Kv, 1nA : <8nm

3. Ion Gun : Ar sputtering

4. Ar sputter depth rate : 0.48nm/min, 1.86nm/min, 6.17nm/min, 10.80nm/min

5. 5 axis computer controlled stage for multipoint analysis and compucentricZalar depth profiles

사용료
80,000원/시료당, 40,000원/30분 Survey(3point이상):20,000원/시료