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초고분해능 주사전자현미경
초고분해능 주사전자현미경
기기 설명
장비명(약어) Extreme High Resolution Scanning Electron Microscope (FE-SEM)
모델명 Verios G4 UC
브랜드 FEI
위치 퓨전테크센터(FTC) 205호
담당자 김수현 suhyunkim@hanyang.ac.kr
담당자 전화번호 02-2220-1711
기기상태 예약 가능
인쇄하기목록으로

원리와 특징
FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)는 집속된 전자빔을 시료 표면에 주사함으로 전자빔과 시료와의 상호작용에 의해서 발생되는 이차전자, 후방산란전자, X-ray를 이용하여 시료의 미세구조분석과 원소의 정성 및 정량 분석이 가능

나노공학, 에너지 분야, 생체 재료, 신소재 분야, 반도체 분야 등 매우 다양한 분야에서 활용 가능함. 교내의 주요연구 분야는 아래와 같으며 이를 통해 내부 수요 역시 충분할 것으로 판단됨. 
 - 차세대 태양전지용 신규 핵심 소재 및 제작기술
 - 연료전지 효율 향상 및 범용화를 위한 핵심소재
 - 이차전지의 경량화와 에너지 밀도 향상을 위한 신규소재 및 
 신개념 차세대 혁신전지 연구
 - 고활성 탄소소재 기반 응용 기술 개발

사양

1. Electron optics

1) Elstar XHR immersion lens FESEM column

 - Elstar electron gun with :

  - Schottky thermal field

  - Hot-swap

  - UC technology

2) 60 degree dual objective lens with pole piece

3) Heated objective

4) Electrostatic

5) ConstantPower™ lens

6) Beam deceleration with stage bias from -50 V to -4

7) Integrated Fast Beam Blanker

 

2. Electron beam resolution

1) 0.7 nm at 15kV

2) 0.7 nm at   1kV

3) 1.0 nm at 500V

4) 1.2 nm at 200V

 

3. Probe current

1) E-beam : 0.8pA up to 100nA

 

4. Lending energy range

1) 20eV - 30keV

 

5. Acceleration Voltage

- 350V - 30kV

 

6. Detectors

1) Elstar in-lens SE detector (TLD-SE)

2) Elstar in-lens BSE detector (TLD-BSE)

3) Elstar in-column SE detector (ICD)

4) Elstar in-column BSE detector (MD)

 

7. Ultra high precision 5-axes piezo-motorized stage

1) X,Y : 150mm

2) Z : 10mm

3) Rotation : 360°

4) Tilt range : -10° to +60°

 

8. Sample sizes

1) Max sample size : 150mm diameter

2) Max sample height : 55mm

시료준비방법
ddd

사용료
기존 SEM과 동일