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[교내 자율 이용] 표면 단차 측정기
[교내 자율 이용] 표면 단차 측정기
기기 설명
장비명(약어) Surface profilometor (Alpha-step)
모델명 Dektak XT
브랜드 BRUKER
위치 FTC 208호
담당자 장종식 bc012345@hanyang.ac.kr
담당자 전화번호 02-2220-1778
기기상태 예약가능
인쇄하기목록으로

원리와 특징
다이아몬드로 코팅된 탐침으로 표면을 물리적 접촉하여 표면의 형상을 측정하며, 주로 단차나 표면의 거칠기를 측정하는데 활용된다.

사양
1) Measurement method
   - contact(stylus profilometry)
   - 2D scan(line) 
   - Stress scan 

2) Stylus Head 
   - Vertical Range : 50Å ~ 1㎜
   - Vertical Resolution : ≤ 1Å
   - Force : 1mg ~ 15mg
   - Scan length : 55㎜ 
   - Max. Sample Thickness : 50mm

3) Stress  scan(Probe Tip)
   - Radius : 2㎛, 45도 
   - Aspect ratio : ≥ 9
   - User exchange  : Possible
   - Exchange time : < 10min

4) Stage
   - Size : 8인치 Rotation Vacuum Chuck 스테이지 (200mm x 200mm)

5) Camera System
   - Field Of View : 0.3 ~ 2㎜

6) Reliability(Standard Block)Deviation Percent/10 time)
   - Repeatability(STDEV/10time) : < 0.2%
   - Accuracy(STDEV/10time) : ± 1.5%

시료준비방법
표면의 단차가 1 mm  이내의 고체시편

연질의 시편을 측정할 경우 탐침에 의한 손상을 주의해야함

사용료
                                                       

항목명

단위명

단가 [원]

기본

30분

10,000

시간 추가

 30분 당 5,000

   VAT 별도


                     

분석결과표현
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